詳細(xì)摘要: DVIA-MO主動(dòng)隔振光學(xué)平臺(tái)光學(xué)面包板和DVIA-M有源隔振器的結(jié)合創(chuàng)造出了的混合有源光學(xué)平臺(tái),為高分辨率光譜學(xué),顯微鏡和精密納米結(jié)構(gòu)研究和制造等挑戰(zhàn)性的應(yīng)用...
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